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真空镀膜设备各机构元件的设计计算的介绍

2019-11-3 15:54:03

《真空镀膜设备》详细介绍了真空镀膜设备的设计方法与镀膜设备各机构元件的设计计算、设计参数的选择,其中重点、系统地介绍了磁控溅射靶的设计计算和溅射镀膜的膜厚均匀性设计。全书共分13章,主要讲解真空镀膜室结构、镀膜室工件架、真空镀膜机的加热与测温装置、真空镀膜机的抽气系统、真空室电和运动的导入结构、溅射镀膜设备的充布气系统、蒸发源、磁控溅射靶、溅射镀膜的膜厚均匀性等方面的设计与计算。遵化市超越钛金设备有限公司专业生产销售真空镀膜设备、钛金设备、离子镀膜机等产品。欢迎大家来电咨询。本文章来源http://www.china-chaoyue.com

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