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泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比

2019-10-30 21:47:16

泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外,还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为108~109;对氢为102~104;对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。泵的极限压力为10-9Pa,工作压力范围为10-1~10-8Pa,抽气速率为几十到几千升每秒(1L=10-3m3)。涡轮分子泵必须在分子流状态(气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态)下工作才能显示出它的优越性,因此要求配有工作压力为1~10-2Pa的前级真空泵。

分子泵本身由转速为10000~60000转/分的中频电动机直联驱动。 抽速大、无油、启动快 工作范围:低真空~中、高真空,大气~超高真空 极限真空: 10-6 / 10-10 torr 遵化市超越钛金设备有限公司专业生产销售真空镀膜设备、钛金设备、离子镀膜机等产品。欢迎大家来电咨询。本文章来源http://www.china-chaoyue.com

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